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                      销售热线0838-2900585
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                      RMA系列自动匹配器

                      • 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短
                      • 超宽匹配范围,可定制适配任意负载
                      • 具有手动/自动匹配功能
                      • 具有保持和预置设定功能

                      RMA系列自动匹配器

                      适用领域:

                          可适配于RLS系列射频电源使用,广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时,可与其他厂家射频电源配套使用。

                      产品特点:

                      l  全数字控制,匹配精度高,匹配时间短

                      l  采用真空电容,可靠性高,使用寿命长

                      l  结构紧凑,体积小,安装便捷

                      l  超宽匹配范围,可定制适配任意负载

                      l  具有手动/自动匹配功能

                      l  具有保持和预置设定功能

                      l  具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态

                      l  可定制化输出接口

                       


                      0755-86511588-8888在线留言
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